技術資料

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マイクロフォーカスX線CT装置によるリニアCT撮影

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  【概要】X線CT装置では通常、フルスキャンでは360度方向、ハーフスキャンでは180度＋X線ファン角度分の方向の投影データを撮影し、画像再構成処理を行うのが通常である。
  ライン状に並んだ被検体をライン方向の直線上に動かすだけで断面像を再構成する制限角CTの再構成技術を用いることで、従来のX線CT装置のフルスキャン、またはハーフスキャン撮影では撮影時間が長すぎて検査のタクトタイムが上がらない場合に、リニアCT撮影により短時間で断面像が撮影できる有用性を確認した。

  関連リンク：『リニアCT』インライン検査物を止めずに断層撮影する新技術

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マイクロフォーカスX線CT装置によるパノラマスキャン撮影

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  【概要】マイクロフォーカスX線CT装置における撮影では、サブミクロン〜数ミクロン単位の微細欠陥を高解像度で捉えられる一方、フラットパネル検出器の大きさが約400mm四方という制限により撮影視野が制限され、大型サンプルや基板全体を一括で撮影できなかった。大型サンプルを撮影・評価・解析する際に使用されるX線検出器を移動させるタイリングスキャンでは、大きなX線ファン角によるX線線質の違い、校正の非効率化、X線漏洩の難しさが課題であった。 本稿では、従来のデータ収集系で幅広い視野が撮影できる当社マイクロフォーカスX線CT装置「ComscanXシリーズ」パノラマスキャンにより従来の比較的小さな筐体、データ収集系で効率良く大型のサンプルが撮影でき、また仮想的に大きなX線ファン角でX線焦点に近づけ、高拡大倍率の高分解能撮影のパノラマスキャンの有用性を確認した。

  関連リンク：大型試料の非破壊検査に。新技術『パノラマスキャン』搭載 300kV マイクロフォーカスX線CT装置 ComscanX Performance 300-4343

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画像再構成ソフトウェア J-ReX software

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  【概要】当社の産業用X線CT装置は、様々なジオメトリ、X線管、X線検出器を組み合わせ、多様な撮影方法に対応している。画像再構成ソフトウェア「J-ReX」は、従来のフル、ハーフ、オフセット再構成に加え、当社独自開発のヘリカル、リニア、パノラマスキャン再構成にも対応する。特にヘリカルや多段撮影では、一連の画像再構成をワンクリックで実行でき、複雑な再構成作業の効率化を実現している。また、自社開発ソフトウェアならではの柔軟性を活かし、特注仕様についてもきめ細かな相談・対応が可能である。本稿では、当社マイクロフォーカスX線CT装置「ComscanXシリーズ」の画像再構成を支えるJ-ReXの多彩な機能、フレキシビリティ、有用性を紹介する。

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X線CT画像表示・解析ソフトウェア J-ReX Viewer software

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  【概要】「J-ReX Viewer」は、当社の産業用X線CT装置で再構成された断面画像および3次元ボリュームデータを、高速かつ直感的に観察・解析するための画像表示・解析ソフトウェアである。XY・YZ・XZの3断面同期表示（MPR）と3Dボリュームレンダリングを基本として、距離、プロファイル、ROI、MTF、真円度・真球度などの定量計測、2つのCT画像を比較するCompare機能、ボイド・クラック・異物を抽出するDetect機能など、多様な解析機能を備えている。また、画像再構成ソフトウェア「J-ReX」と連携し、再構成された3次元データをメモリ上から直接表示することで、画像再構成から観察・解析までを効率的に行うことができる。さらに、自社開発ソフトウェアならではの柔軟性を活かし、お客様の検査対象や評価方法に応じた特注機能についてもきめ細かな相談・対応が可能である。本稿では、J-ReX Viewerの表示、計測、比較、自動検出機能と、それらを活用した産業用X線CTデータ解析の有用性を紹介する。

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動画

マイクロフォーカスX線CT装置 ComscanX で撮影した動画をまとめました。

※動画内の型式名は旧型式名です。2024年春に全製品の型式名をリニューアルいたしました。